Vakuumphysik und -technik / Vakuumleckprüfung

Information zum Lehrgang:  http://www.physik.tu-dresden.de/vakuumkurs

Thema des Lehrgangs:
Der Lehrgang behandelt die Grundlagen der Vakuumphysik und der Vakuumtechnik, die zum Verständnis vakuumtechnischer Vorgänge, die zur richtigen Auswahl und zum effektiven Einsatz vakuumtechnischer Anlagen bzw. zum Eigenbau von Vakuumkomponenten erforderlich sind. Auf die Aspekte der treibmittelfreien Vakuumerzeugung, der Verminderung des H₂O-Partialdrucks im Rezipienten, des Auffindens und Beseitigens verschiedener Lecktypen, die bei den modernen Vakuumtechnologien (z.B. in der Halbleiterindustrie, der Dünnschichttechnik bei der Entwicklung neuer Werkstoffe, in der Bio- und Medizintechnik sowie in der Mess- und Analysentechnik) eine große Rolle spielen, wird besonderes eingegangen.

Zur Festigung der Kenntnisse der Teilnehmer und zum Sammeln eigener Erfahrungen auf dem Gebiet der Vakuumphysik und -technik ist der Lehrgang als Einheit von Vorlesung / Seminar einerseits und selbständiger praktischer Übung andererseits angelegt. Eine enge Verflechtung von theoretischen Grundlagen und praktischer Anwendung wird dabei erreicht. Das Praktikum wird an moderner Gerätetechnik durchgeführt. Dabei werden die Teilnehmer nach Einführung und Anleitung erfahrener Hochschulangehöriger in Kleingruppen selbständig an den Versuchen arbeiten.

Zielgruppe: 
Anwender der Vakuumtechnik in Elektrotechnik, Elektronik, chemischer Industrie, Pharmazie, Apparate- und Anlagenbau, physikalischen und chemischen Forschungslaboratorien.
Ingenieure, Techniker, Physiker, Chemiker, die mit vakuumtechnischen Geräten arbeiten bzw. die bei der Entwicklung und Planung neuer Verfahren Vakuum für moderne Technologien benötigen.

Inhalte:
1.  Physikalische Grundlagen
2.  Sorption und Gasabgabe von Werkstoffen, Vakuumhygiene (Verhaltensmaßregeln)
3.  Totaldruckmessung und Druckmeßfehler
4.  Partialdruckmessung
5.  Vakuumerzeuger
6.  UHV-Technik
7.  Lecksuche, Leckratenbestimmung
8.  Praktikum
Im Praktikum werden 6 Wahlversuche durchgeführt, Information hierzu finden Sie unter http://www.physik.tu-dresden.de/vakuumkurs/versuche.html

Abschluß: Teilnahmezertifikat (EIPOS)

Ablauf:  Der Lehrgang beginnt am ersten Tag um 12.30 Uhr.

Leitung:  Priv.-Doz. Dr. rer. nat. habil. Manfred Jäckel   

Dozenten
Priv.-Doz. Dr. rer. nat. habil. Mathias Dörr, TU Dresden,
    Fachrichtung Physik, Institut für Festkörperphysik
    Tel.: (0351)  463350-36, Fax: (0351)  463377-34
Dipl.-Phys. Berthold Köhler,  TU Dresden

Lehrgangsort:
TU Dresden, Fachrichtung Physik, Institut für Festkörperphysik, 
   Physikgebäude PHY B 214, Zellescher Weg 16, 01069 Dresden

Kontakt:
Dr. Klaus-Dieter Hansel
Europäisches Institut für postgraduale Bildung an der TU Dresden e.V.
- EIPOS - , Goetheallee 24 , 01309  Dresden
Tel.  (0351) 4407237,  Fax: (0351) 4407220
E-Mail   d.hansel@eipos.de,  Internet  www.eipos.de